国家知识产权局信息显示，江苏亨芯石英科技有限公司取得一项名为“一种大尺寸光掩模石英玻璃基板抛光装置”的专利，授权公告号CN 223572739 U，申请日期为2024年11月。

　　专利摘要显示，本实用新型涉及光掩模制备技术领域，本实用新型要解决的技术问题是成品率低，加工精度不高等。为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种大尺寸光掩模石英玻璃基板抛光装置。本实用新型包括：工件回转支撑组件，在水平面中沿X方向滑动连接在底部支撑件一端的顶部；工件回转支撑组件的支撑盘设有安装槽；双轴磨盘组件沿Y方向滑动连接在底部支撑件另一端的顶部；双轴磨盘组件包括可回转的抛光盘；抛光盘轴线与支撑盘轴线的高度平齐；抛光盘以及支撑盘设于密封舱室中；冷却循环系统用于向支撑盘和抛光盘供给抛光液；其中，工件回转支撑组件向双轴磨盘组件滑动，用于夹紧待加工工件；抛光盘和支撑盘分别在垂直于水平面的平面中回转。本实用新型提高加工精度和成品率。

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